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MEMS設計表面微加工存在的力學問題
點擊量:2201 日期:2021-12-25 編輯:硅時代
層間的黏附在分離材料層中的犧牲層時有所體現(xiàn),一定程度上影響懸臂梁正常狀態(tài),容易發(fā)生坍塌
公安備案號:蘇公網(wǎng)安備32059002006658號
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